INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 64)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Alarme Bei Ratenabweichung Fehler
Bei Blendenverzögerung Fehler
Wenn Max Leistung erreicht
Bei Crucible Switch Fehler Sowie jeder Fehler gelöscht wird und
keine anderen aufkommen.
Wenn Start oder Reset erfolgen
Wenn die Idle Rampe beginnt
Quelle in Betrieb Wenn Quelle 2 aktiv ist Wenn Quelle 1 aktiv ist
Final Thick
Enddicke Final thickness- Enddicke ist
erreicht Wenn Start oder Reset erfolgt
End of Film (nur M) Idle Status initiiert Wenn Start oder Reset erfolgt
In Layer (nur M) Wenn Layer gestartet ist Eingang in Idle oder Stop
Ion Assist Dep
(nur M) Eingang in jeden Deposit Status
und Ion Assist Deposit ist aktiv. Eingang in Idle Rampe
Eingang in Stop
Xtal Switch 1
(nur M) siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
siehe Quarzwechsel Abschnitt 3.6.8
Xtal Switch 2
(nur M) siehe Quarzwechsel
Abschnitt 3.6.8
siehe Quarzwechsel Abschnitt 3.6.8
Ready (nur M)
Wenn jeder Status beginnt,
werden die alten und neuen
Status Ausgänge wie notwendig
erstellt. Wenn jeder Status beginnt, werden
die alten und neuen Status
Ausgänge wie notwendig erstellt.
Crucib Switch
Tiegelwechsel
(nur M
Rise 1 (nur M)
Soak 1 (nur M)
Rise 2 (nur M)
Soak 2
Shutter Delay
Blendenverzögerung
(nur M)
Deposit (nur M)
Rate Ramp (nur M)
Manual (nur M)
Time Power (nur M)
Idle Ramp (nur M)
Idle (nur M)
Max Power (nur M) Wenn Leistung max. Wert
erreicht Wenn Leistung nicht max. Wert
erreicht hat
Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang Aktiv Inaktiv