INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 6)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 2
Installation und Schnittstellen
2.1 Hinweise zur Aufstellung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.1 Sensortypen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-1
2.1.2 Sensor Installation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-3
2.1.3 Installation des Regelgerät. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.2 Vermeidung elektrischer Störungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.2.1 Herstellung und Überprüfung der Schutzleiterverbindung . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.2.2 Schutzleiteranschlüsse. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-6
2.2.3 Minimierung der Aufnahme von Störungen
durch die externe Verdrahtung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-8
2.3 Verbinden des Regelgerätes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.1 Prüfen der richtigen Netzspannung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.2 Verlegung der Oszillator (XIU)-Leitungen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.3 Herstellung und Belegung der Schnittstellen-Leitungen . . . . . . . . . . . . . . . 2-9
2.3.3.1 Verbindung zur Aufdampfquellensteuerung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.3.3.2 Verbindung der Eingänge / Ausgänge
(I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang)) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-10
2.3.3.2.1 System I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . 2-11
2.3.3.2.2 Aux I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.3.3.2.3 Eingänge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-12
2.3.4 RS-232C Kommunikation. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.3.5 TCP/IP Kommunikationsverbindung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.3.5.1 Netzwerk Verbindung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.3.5.2 IP Addresse im XTC/3 ändern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
2.3.5.3 PC Setup . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2-13
Kapitel 3
Betrieb
3.1 Bedienelemente auf der Frontplatte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-1
3.2 Anschlüsse auf der Rückseite . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-2
3.3 Anzeigen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-3
3.3.1 Menu Anzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-4
3.3.2 Betriebsanzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-5
3.3.2.1 Quarznutzungsdauer und Anfangsfrequenz. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.3.2.2 Den Geeigneten Quarz wählen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.3.2.3 Prozent Life - Quarzbenutzung Auto-Zero . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-7
3.3.3 Film Parameter Anzeige. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-8
3.3.4 Prozessliste Anzeige (nur XTC/3M ) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-9
3.3.5 General Parameter Anzeige. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3-10