3 anzeigen – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
1 Netzbuchse, Netzschalter und Sicherung
Einheitlicher Anschluss und Netzschalter für unterschiedliche international
gebräuchliche Netzleitungen sowie die Sicherung.
2 Digital/Analog Wandler (DAC) Ausgänge für Quellensteuerung
Liefert Steuerspannung für zwei Quellen, (BNC Buchsen). Die Ausgänge sind
programmierbar für verschiedene Spannungen und Polaritäten.
3 Buchse für TCP/IP Kommunikationsoption
Erlaubt Verbindung für TCP/IP Schnittstelle.
4 Sensorsbuchse - Kanäle 1 & 2
Erlaubt Anschluss an die zwei Sensorkanäle im Gerät.
5 RS-232C Buchse für die Kommunikationsschnittstelle
9polige RS 232 Kommunikationsschnittstellenbuchse.
6 Erdanschlussbolzen
Abschnitt 2.2.2, Schutzleiteranschlüsse, auf Seite 2-6
7 Schreiber DAC Ausgang
Liefert 0 bis 10V Ausgang wählbar für Rate, Ratenabweichung, und
Schichtdicke in verschiedenen Bereichen und Leistung (BNC Buchse).
8 Aux I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Buchse
Liefert Anschluss für 6 Relais geeignet für 30 V(dc) oder 30 V(ac) RMS oder
42 V(Spitze) max., 8 Logikausgänge, und 1 Logikeingang.
9 System I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Buchse
Liefert Anschluss für 6 Relais geeignet für 30 V(dc) oder 30 V(ac) RMS oder
42 V(Spitze) max., und 8 Logikeingänge.
3.3 Anzeigen
Das XTC/3 hat Anzeigen zu Überwachungs- und Betriebszwecken. Die
Hauptanzeigearten sind: Operate/Betrieb; Film Parameter; Prozess
Liste/Prozessliste (nur XTC/3M ); General Parameter/Generelle Parameter; I/O
Map/ Eingang-Ausgang Karte, Diagnostics und Sensor.
Um die Lebensdauer der Anzeige zu maximieren, kann sie auf abschalten nach
einer Dauer von 1 bis 99 Minuten ohne Tastendruck gesetzt werden, (siehe
Abschnitt 4.4.2, Hardware Parameter, auf Seite 4-21
, Parameter LCD DIMMER
TIME / LCD Abschaltzeit). Ein Tastendruck bevor der Abschaltzeit setzt die
Abschaltzeit zurück und beginnt sie wieder. Die Standardeinstellung von 0
verhindert die Abschaltfunktion. Wenn die Anzeige durch die Abschaltfunktion