INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 134
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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
24
(0x18)
Control Gain
Regler-
verstärkung
Å/s / %
Float
xx.xx
00.01
100.0
25
(0x19)
Regler
Zeitkonstante
s
Float
xxx.x
0.1
100.0
26
(0x1a)
Dead Time
Regler Totzeit
s
Float
xxx.x
0.1
100.0
27
(0x1b)
Max Leistung
%
Float
xxx.x
0.0
100.0
28
(0x1c)
Density
Dichte
gm/cc
Float
x.xx
xx.xx
0.50
99.99
29
(0x1d)
Z-Ratio
Float
x.xxx
xx.xx
xxx.x
0.100
9.999
30
(0x1e)
Time Power
Zeit-Leistung
1=Yes-Ja
0 = No-Nein
Int
0
1
31
(0x1f)
Delay option
Verzögerungs-
option
0 = Keine
1 = Blende
2 = Regler
3 = Beide
Int
0
3
32
(0x20)
1
Transfer
Sensor
Übergabe
1=Yes, 0 = No
Nicht wenn Film
aktiv ist
Int
0
1
33
(0x21)
1
Übergabe
Korr.faktor
%
Float
xxx.x
10.0
500.0
34
(0x22)
1
Regel-
verzögerungs-
zeit
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
35
(0x23)
2
Ion Assisted
Deposit
1=Yes,
0 = No
Int
0
1
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter (Fortsetzung)
"Stan-
dard"
Befehl
ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Untere
Grenze
Obere
Grenze