1 xtc/3s eingänge und ausgänge, Abschnitt 4.5.1 auf seite 4-27, I/o map – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch

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XTC/3 Gebrauchsanleitung

Wenn die Parametereingabe gesperrt ist, erscheint die "L Lock" oder "R Lock"
Meldung in der oben rechts Ecke. Parameterwerte werden gezeigt aber können
nicht verändert werden. Die Inputs, Relay, und TTL (Output) Anzeigen können
nicht programmiert werden.

4.5.1 XTC/3S Eingänge und Ausgänge

Im XTC/3S wird der fixierte I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) auf der I/O
Map Anzeige dargestellt. Die Zuordnung der 9 fixierten Eingänge entspricht
der Standardzuordnung im XTC/2. Siehe auch

Abschnitt 4.4.2.1, XTC/3S

Film Select - Filmwahl Input Option, auf Seite 4-23

für Eingänge.

Alle Relais (1 bis 12) und TTL Open Collector Ausgänge (13 bis 20) sind den
angezeigten Funktionen fest zugeordnet. Diese Zuordnungen sind identisch mit
der Standardzuordnung im XTC/2, siehe

Abschnitt 2.3.3.2.1 auf Seite 2-11

Abbildung 4-20 XTC/3S I/O Map Anzeige, Standard Input Option

Abbildung 4-21 XTC/3S I/O Map Anzeige, Film Select Option

I/O MAP

| 1 Start 5 RW Sampl Inhib
| 2 Stop 6 XtalFail Inhibit
| 3 End Deposit 7 Zero Thick

| 4 RW Sampl Init 8 Soak 2 Hold

All I/O

| 9 Cruc 1 Valid

| 1 Source Shut 1 7 Thick Setpoint

| 2 Source Shut 2 8 Soak 2
| 3 Sensor Shut 1 9 Xtal Fail

| 4 Sensor Shut 2 10 Alarms

|16 Cruc Src 1 Bin 20 Cruc Src 1 Bin

I/O Map

| 1 Start 5 Film Select MSB
| 2 Stop 6 Film Select

| 3 End Deposit 7 Film Select
| 4 Reset 8 Film Select LSB

All I/O

| 9 Cruc 1 Valid

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