INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 161)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Kapitel 6
Fehlersuche, Status- und Fehlermeldungen
6.1 Status und Fehlermeldungen
ALREADY RUNNING - Schon in Betrieb
Diese Nachricht erscheint wenn ein START Befehl für die Schicht ausgelöst
wird und die Schicht ist schon im Durchlauf.
ALREADY SWITCHING - Schon in Vorgang
Ein Quarzwechsel oder eine Tiegelrotation wird ausgelöst und ein
Quarzwechsel oder Tiegel switch ist schon in Vorgang.
CAN’T EMPTY ACTIVE PROCESS - Aktiver Prozess kann nicht entleert
werden
Alle Schichten können im aktiven Prozess nicht gelöscht werden.
CAROUSEL OPEN- Karussell Offen
Das Quarz-Karussell Bauteil wurde von einem Crystal12 Sensor entfernt.
COMMUNICATION- Kommunikation
Gerät ging in STOP da ein Stop Befehl ankam.
CONTROL DELAY - Regelverzögerung
Zeigt an dass das Gerät im Regelverzögerungstatus ist.
CRUCIBLE FAIL - Tiegelfehler
Gerät ging in STOP wegen einem Tiegelrotationfehler.
CRUCIBLE SW - Tiegelrotation
Zeigt an dass eine Tiegelrotation in Vorgang ist.
CRUCIBLE SW FAIL - Tiegelrotationfehler
Dieser Fehler erscheint wenn eine Schicht mehr als 30 s im
Tiegelrotationstatus war ohne dass das Cruc Valid - Tiegel Gültig Signal am
respektiven Eingang ankam.
CRYSTAL FAIL - Quarzausfall
Gerät kann keine Resonanzfrequenz finden oder der Quarz hat seine
erlaubten S oder Q Grenzwerte überschritten.
CRYSTAL SWITCH - Quarzwechsel
Quarzwechsel ist in Vorgang.
CRYSTAL SW FAIL - Quarzwechselfehler
Quarzwechsel wurde nicht durchgeführt.
DELAY FAILURE - Verzögerungfehler
Bedeutet dass das Gerät Ratenregelung während der Blendenverzögerung
nicht erreichen konnte.