INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 192)

6 - 32
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.5.4 Emulator Spezifikationen
Größe
1.58 in. Durchmesser x 1.79 in.
(40.13 mm Durchmesser x 45.47 mm)
Temperaturbereich
0 bis 50
o
C
Frequenz
760-601-G1: 5.5 MHz ± 30 ppm bei Raumtemperatur
760-601-G2: 5.5 MHz ± 1 ppm bei Raumtemperatur
Materiale
304 Edelstahl, Nylon, Teflon®, Bronze. Einige interne Teile enthalten Zink, Zinn,
und Blei.