INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 61)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.5 Status Beschreibungen
Tabelle 3-1 Status Beschreibungen
STATUS ZUSTAND RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
blende Sensor-
blende
HINWEIS: Die folgenden sind Einschmelzstatusse.
Betreffende Parameter sind sehbar in der ZUSTAND Spalte, eingeklammert mit [ ] linke und
rechte Eckklammer.
READY XTC/3 akzeptiert den START Befehl. Rate
ist angezeigt und DIcke ist akkumuliert. Inaktiv Inaktiv
Crucible SWITCH Das Gerät schaltet zum nächsten Zustand
weiter, wenn der Mehrfachtiegel Eingang
“Cruc Valid” LOW ist. Falls IDLE PWR
(Leerlaufleistung) der vorangegangenen
Schicht unter Verwendung dieser
Aufdampfquelle nicht gleich Null ist, wird
die Leistungsabgabe auf Null gesetzt,
bevor die Position des Tiegels sich ändert.
[Crucible #, Source #] Inaktiv Inaktiv
RISE 1 Quelle steigt zum Soak Leistung 1 Pegel.
[Rise Time 1] Inaktiv Inaktiv
SOAK 1 Quellenleistung wird auf Soak Leistung 1
Pegel gehalten. [Soak Time 1, Soak
Leistung 1] Inaktiv Inaktiv
SOAK HOLD 1 (nur M)
(Soak 1 Status) Quellenleistung wird auf Soak Leistung 1
Pegel gehalten. [Soak Hold 1 Eingang].
Anzeige zeigt SOAK 1. Inaktiv Inaktiv
RISE 2 Quelle steigt zum Soak Leistung 2 Pegel.
[Rise Time 2] Inaktiv Inaktiv
SOAK 2 Quellenleistung wird auf Soak Leistung 2
Pegel gehalten. [Soak Time 2, Soak
Leistung 2] Inaktiv Inaktiv
SOAK HOLD 2
(Soak 2 Status) Quellenleistung wird auf Soak Leistung 2
Pegel gehalten. [Soak Hold 2 Eingang].
Anzeige zeigt SOAK 2. Inaktiv Inaktiv