INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
2.3.3.2.1 System I/O (Input/Eingang-Output/Ausgang) Stecker
Tabelle 2-2 System I/O Stecker
Beschreibung
Pin #
XTC/3S Funktion
Relais 1
1, 2
Quellenblende 1
Relais 2
3, 4
Quellenblende 2
Relais 3
5, 6
** Sensorblende 1
Relais 4
7, 8
** Sensorblende 2
Relais 5
9, 10
Stop
Relais 6
11, 12
Prozess Ende
Eingang 1
18
Start
Eingang 2
19
Stop
Eingang 3
20
Beschichtungsende
Eingang 4
21
*
Abtasten Initiieren
Eingang 5
22
*
Abtasten Sperren
Eingang 6
23
*
Crystal Fail Sperren
Eingang 7
24
*
Schichtdicke Nullen
Eingang 8
25
*
Soak 2 Halten
Erde
13,14,15,16,17
Eingang Rückleiter
* Diese Eingangsfunktionen können nach
gewählt
werden.
** Benutzt für Quarzwechsel beim XTC/3S
Tabelle 2-3 "Film Select" Option selektiert in der XTC/3S General / Prozess Anzeige
Eingang
#
Pin #
Funktion
Beschreibung
4
21
RESET
5
22
Film Select MSB
6
23
Film Select
7
24
Film Select
8
25
Film Select LSB