INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 127)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
7 Dickensollwert
8 Crystal Fail-Quarzausfall
9 Alarme
10 Quelle in Gebrauch (Offen=1; Geschlossen=2)
11 Enddicke
12 Ende des Film
13 In Layer-Schicht in Bearbeitung
14 Ion Assisted Deposition
15 Crystal Switcher-Quarzwechsler 1
16 Crystal Switcher-Quarzwechsler 2
17 Ready-Bereit
18 Crucible Switching-Tiegel Rotierung
19 Rise-Anstieg 1
20 Soak 1
21 Rise 2
22 Soak 2
23 Shutter Delay-Blendenverzögerung
24 Deposit
25 Ratenrampe
26 Manual-Manuell
27 Time Power-Zeit Leistung
28 Idle Rampe
29 Idle
30 Max Power-Leistung
31 Ratenabweichungsfehler
32 Quarzwechselfehler
33 Quarzwechsel
34 Tiegelrotationsfehler
35 Blendenverzögerungsfehler
36 Computer Kontrolle
37 Tiegelwahl Quelle 1 Binär (8 Ausgänge notwendig, einer/Position)*