INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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IP
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P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
9 (0x09)
Quarznutzung
(Byte)
10 (0x0a)
Leistung Quelle
(Byte) ( 1 oder 2)
11
(0x0b)
AusgangStatus
Byte
(4 Byte) -Jedes Bit repräsentiert einen Ausgang-
(0 = nicht gesetzt, 1 =gesetzt)
Ausgang1 = LSB, Ausgang20 = 20. Bit
12
(0x0c)
Eingang Status
Byte
(2 Byte) -Jedes Bit repräsentiert einen Eingang -
(0 = nicht gesetzt, 1 =gesetzt
Eingang 1 = LSB, Eingang 9 = 9. Bit
13
(0x0d)
Rohe Frequenz
(Int DDS Einheit). - Mit 0.0034924596 multiplizieren
um in Hz umwandeln.-
14
(0x0e)
Quarzausfall
(Byte) 0 = Guter Quarz / nicht in Quarzausfall;
1 = Quarzausfall / in Quarzausfall
15
(0x0f)
Max Leistung
(Byte) 0 = Falsch, nicht in max Leistung;
1 = Wahr, in max Leistung
16 (0x10)
Quarzwechsel
(Byte) 0 = nicht in Wechsel; 1 = in Wechsel
17 (0x11)
Ende vom
Prozess
(Byte) 0 = Falsch; 1 = Wahr
18 (0x12)
Stop
(Byte) 0 = Falsch; 1 = Wahr
Tabelle 5-4 "Standard" Status Befehle (Fortsetzung)
"Standard"
Befehl ID
Beschreibung
Antwort:
Beschreibung (Data Format)Einheit-Detail