INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 76)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.6.9 Konfiguration für "Start Without Backup" Start Ohne Backup
Das folgende trifft nur zu wenn ein Film einen Multi-position Sensor wie CrystalTwo
(750-212-G2 Dual Sensor mit 779-220-G1 oder 779-220-G2 XTAL 2 Switch),
CrystalSix, Crystal12, Rotary Sensor oder Dual Head benutzt.
Wenn "Start Without Backup" auf die Standard Mode "No" gesetzt ist, kann eine
Schicht nicht starten wenn nicht wenigstens zwei gute Quarze im Multi-position
Sensor bekannt sind. Einer von diesen ist der aktuelle benutzte Quarz, der andere
der bekannte gute Reservequarz.
Wenn "Start Without Backup" auf "Yes" gesetzt ist, kann eine Schicht mit einem
Multi-position Sensor gestarted werden auch wenn nur ein guter Quarz vorhanden
ist.
Zusätzlich, wenn "Start Without Backup" auf "Yes" gesetzt ist und das Gerät auf
den Reserve-"backup"-Quarz während dem Prozess umschaltet, verwendet es
den "backup" Quarz weiter bis im Prozess RESET ausgelöst wird, auch wenn der
primäre Quarz ersetzt wird. Dies kann umgangen werden mit einem manuellen
Quarzwechsel zum primären Quarz nachdem der ausgefallene Quarz ersetzt
wurde.
3.6.10 RateWatcher
Wenn RateWatcher aktiv ist, wird einfach die Aufdampfrate periodisch abgetastet
und dann die nötige Quellenleistung ausgegeben um die Rate beim Sollwert für
längere Zeit zu halten. Mit grundsätzlich stabilen Aufdampfquellen wie z.B. das
planare Magnetron, ist es nur ab und zu notwendig die Rate zu erfassen
(zusammen mit der automatischen Neuberechnung der benötigten Leistung).
Diese "Sample and Hold" -Abtast- und Halte- Funktion maximiert die
Quarznutzungsdauer. Sie kann dadurch die aktive Art der Regelung ersetzen in
welcher der Quarz fortwährend beschichtet wird. In der aktiven Schichtregelung
begrenzt die Quarznutzungsdauer oft die Verwendung des Quarzmonitorgerätes
für in-line oder load-lock Systeme.
Die RateWatcher Funktion RW verwendet zwei Parameter die in der
Deposit-Wahlfläche in der Film Parameter Anzeige eingegeben werden. Als erstes
muss der Prozess Ingenieur die RW Accuracy-Genauigkeit Prozent wählen, siehe
RW ACCURACY- RW Genauigkeit 1 bis 99% auf Seite 4-7 . Dieser Parameter
bestimmt die Genauigkeit die für mindestens 5 s aufrecht erhalten werden muss
um den Abtaststatus zu verlassen.
HINWEIS: Die Einstellung für die höchste Genauigkeit ist intern beschränkt auf
eine 0.5 Å/s Abweichung zwischen Sollwert und der aktuell
gemessenen Rate. Damit werden unnötige Leistungsänderungen
verhindert.