INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 172)

6 - 12
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.3.2 Fehlersuche an den Sensoren
Zur Diagnose von vielen Problemen an den Sensoren ist ein Digital-Voltmeter
nützlich. Die kurze Oszillatorleitung von der Durchführung lösen und den
Widerstand zwischen dem Mittelleiter und Masse messen. Bei einem gemessenen
Widerstand von weniger als 1 bis 2 MOhm sollte die Ursache für den Leckstrom
gefunden und behoben werden. Ebenso, deutet - bei geöffnetem Vakuumsystem -
ein bei der Durchgangsmessung für den Mittelleiter gemessener Widerstand von
über 1 Ohm in der Leitung zwischen der Durchführung zum Sensor auf ein
Problem hin. Er kann erforderlich sein, die Kontakte zu reinigen oder die in Vakuum
befindliche Leitung zu ersetzen.
Eine gründlichere Diagnosis kann mit Hilfe des optionalen Crystal Sensor
Emulator, 760-601-G2. siehe
Abschnitt 6.5 auf Seite 6-26 für eine Beschreibung
der Anwendung für Diagnostik.
6.3.2.1 Quarzwechsel und Rotation Prüfen
Die Sensor Information Anzeige erlaubt die Funktion des aktiven Sensor von der
Frontplatte zu prüfen. Siehe
Abschnitt 3.3.8, Sensor Anzeige, auf Seite 3-12 .
6.3.2.2 Sensorblende Funktion Prüfen
Um die Blende für einen CrystalTwo zu prüfen, kann die Switch Crystal -
Quarzwechsel Funktion wie unter
Abschnitt 3.3.8 beschrieben, verwendet werden.
Um die Blende für andere Sensoren, (Standard, Compact, Sputtering, CrystalSix,
Crystal12, Rotary oder UHV Ausheizbarer Sensor mit Blende) zu prüfen, kann die
Toggle Shutter Funktion auf der Diagnostics Anzeige für den gegebenen Sensor
per
Abbildung 6-2 auf Seite 6-6 oben verwendet werden.
HINWEIS: Eine gründlichere Anweisung wird mit dem Sensor geliefert und ist
auch auf der INFICON CD vorhanden die mit dem Gerät geliefert wird.