INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 56)

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G
XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.8 Sensor Anzeige
Abbildung 3-11 Typische Sensor Anzeige
Unaktive Wahlfunktionen sind grau. Wenn Nicht-Nullwerte für die S und/oder Q
Parameter eingegeben wurden, können die akkumulierten Werte auf dieser
Anzeige gelöscht werden. Zudem, wenn ein Multi-Position Sensor in Gebrauch ist,
kann er zu der nächsten oder durch alle Positionen rotiert werden in dem der
Cursor auf "Switch Crystal" oder "Rotate Head" bewegt und die TOGL Taste
betätigt wird. Allerdings ist "Rotate Head" nur erlaubt im "Ready" oder "Idle" Status
am Ende eines Prozess.
"Frequency" gibt die aktuelle Resonanz oder den letzten guten Wert vor einem
Quarzausfall/ Crystal Fail an.
Sensor Information
Active Sensor 1 Clear S & Q
Frequency 5763566.879 Hz Clear Failed
Raw Rate 0.147
Å/s Crystals
Type CrystalTwo
Rotate Head
Crystal Position 1 Switch
Failed Crystals Crystal
S Count 0
Q Count Delay TOGL selection
to initiate.
40.0
A/S
187.5
KA
0.0
%