INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
Seite 132
5 - 20
IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Antwort:
Keine (Nur Header und Trailer)
Sonderfall: UF255 <Film Nummer> <Liste aller Film Parameter Werte in
Folge> aktualisiert alle Film Parameter für den gegebenen Film, in numerischer
Folge.
HINWEIS: Beschränkungen bestehen die bestimmen wenn besondere Film
Parameter aktualisiert werden können, z.B. Hardware benutzt im Film
kann nicht aktualisiert werden während der Film aktiv ist. Alle
Parameter können im "Ready" Status aktualisiert werden.
Tabelle 5-2 "Standard" Film Parameter
"Stan-
dard"
Befehl
ID
Name
Einheiten /
Erlaubte Werte /
Bemerkungen
Daten-
typ/
Format
Untere
Grenze
Obere
Grenze
0
(0x00)
Rise Time 1
Anstiegszeit 1
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
1
(0x01)
Soak Power 1
Soakleistung 1
%
Float
xxx.x
0.0
100.0
2
(0x02)
Soak Time 1
Soakzeit 1
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
3
(0x03)
Rise Time 2
Anstiegszeit 2
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
4
(0x04)
Soak Power 2
Soakleistung 2
%
Float
xxx.x
0.0
100.0
5
(0x05)
Soak Time 2
Soakzeit 2
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
6
(0x06)
Idle Ramp
Leerlauframpe
MM:SS
(s)
Int
0
99:59
(5999)
7
(0x07)
Idle Power
Leerlaufleistun
g
%
Float
xxx.x
0.0
100.0
8
(0x08)
Deposition
Rate
Aufdampfrate
Å/s
Float
xxx.x
0.000
999.9
9
(0x09)
Final
Thickness
Enddicke
kÅ
Float
x.xxx
xx.xx
xxx.x
0.000
999.9