INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Beim Einsatz in Verbindung mit Hochfrequenzsputtersystemen muss
möglicherweise die Methode der Erdung an die jeweilige Situation angepasst
werden. Ein sehr informativer Artikel zu dem Thema Erdung und Schutz vor
Elektromagnetischen Störungen von H.D. Alcaide wurde in „Solid State
Technology“, Seite 117, April 1982 veröffentlicht.
In vielen Fällen wird ein geflochtenes Erdungskabel genügen. Jedoch gibt es
einige Fälle, in denen ein massives Kupferkabel (0,75 x 2,5 cm breit) wegen seiner
geringeren Hochfrequenzimpedanz verwendet werden muss.
Abbildung 2-3 System Erdungsdiagram
2.2.3 Minimierung der Aufnahme von Störungen durch die externe
Verdrahtung
Nach vollständiger Integration eines Regelgerätes in ein Aufdampfsystem ergeben
sich viele Leitungsverbindungen, wobei bei jeder die Möglichkeit besteht, dass
Störungen aufgenommen und in das Gerät weitergeleitet werden. Die Gefahr der
Aufnahme von Störungen lässt sich durch die Befolgung nachstehender Richtlinien
erheblich verringern.
Bei allen Verbindungen abgeschirmte Koaxialleitungen oder verdrillte Kabel
verwenden.
Die Kabellängen so kurz wie möglich halten.
Die Leitungen von möglichen Störquellen fernhalten. so können zum Beispiel
die Stromversorgungen für Elektronenstrahlkanonen oder Sputterquellen sich
schnell ändernde und zudem sehr starke elektromagnetische Felder erzeugen.
Schon bei einem Abstand von 30 cm kann sich die Aufnahme von Störungen
erheblich verringern.
Sicherstellen, dass eine gute Erdung vorhanden ist, und dass alle
Erdverbindungen entsprechend den Empfehlungen von
ausgeführt wurden.
Rückseite
Erdanschluss
Erde
Sensor
Durchführung
Vakuumsystem