INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
HINWEIS: Die folgenden sind Post-Deposit Statusse.
IDLE RAMP
Quellenleistung ändert sich zu Idle
Leistung. [Idle Ramp Time, Idle Leistung]
Inaktiv
Inaktiv
IDLE (=0% Leistung)
Quellenleistung auf Null gehalten;
akzeptiert einen START Befehl.
Inaktiv
Inaktiv
IDLE (>0% Leistung)
Quelle ruht bei Idle Leistung; akzeptiert
einen START Befehl. Rise 1 und Soak 1
werden übersprungen.
Inaktiv
Inaktiv
STOP
HINWEIS: Stop ist kein
separater Status sondern
eine Suspendierung des
aktuellen Status.
Quellenleistungs ausgang auf Null gesetzt.
Die Anzeige ist gefroren mit den Werten
der letzten Rate und Dicke
Ref:
Wiederherstellung nach "STOPS",
Inaktiv
Inaktiv
Tabelle 3-2 Ausgang Statusse
Ausgang
Aktiv
Inaktiv
Source Shut 1
Quellenblende 1
In jedem Deposit Status
Wenn Regelung verlassen wird
Source Shut 2
1
Sensor Shut 1
Sensorblende 1
In Blendenverzögerung oder
jedem Deposit Status.
In RateWatcher Sample
Schließt wenn Regelung verlassen
wird.
In RateWatcher Hold- Halten
1
Sensor Shut 2
Hinweis 1: Im XTC/3S, Sensor Shut 1 und Sensor Shut 2 Ausgänge werden für die Quarzwechsel
Funktion benutzt wenn ein Multi-Position Sensor gewählt wurde.
Stop
Wenn in Stop
Nicht in Stop
End of Prozess
Prozessende
Wenn Idle erreicht wird und der
Film ist der letzte im Prozess.
Wenn Start oder Reset erfolgt
Thick Setpoint
Dicke Sollwert
In Deposit oder Time Power
Status, und Dicke Sollwert ist
erreicht
Wenn Start oder Reset erfolgt
Wenn Idle erreicht ist
Xtal Fail
Quarzausfall
Wenn der aktive Quarz ausfällt
Wenn der aktive Quarzstatus Gut ist.
Wenn Digitaleingang Crystal Fail
InhiBit aktiv ist.
Tabelle 3-1 Status Beschreibungen (Fortsetzung)
STATUS
ZUSTAND
RELAIS KONTAKT
STATUS
Quellen
blende
Sensor-
blende