INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
HINWEIS: In der Standard Konfiguration geben Bits 8 und 9 Werte von 1 obwohl
die Standardwerte für diese Bits 0 waren im XTC/2. Wenn es
gewünscht ist die S20 Antwort gleich der XTC/2 Standard Antwort zu
machen, den Schreiber Bereich auf 100 und die Audio Feedback -
Rückmeldung auf Yes setzen, beide per
Abschnitt 4.4.2 auf Seite 4-21
.
Tabelle 5-11 S20 Befehl Eingang Status
Byte #
Funktion
Status
# 1
Test Modus
(0 = Aus, 1 = Ein)
# 2
Parameter Sperre
(0 = Aus, 1 = Ein)
# 3
Regel Modus
(0 = Deposit, 1 = Ätzen)
# 4
Stop Auf Alarme
(0 = Nein, 1 = Ja
# 5
Stop auf Max
Leistung
(0 = Nein, 1 = Ja)
# 6
# 7
# 8
Recorder Type
(in order:
Byte 6, 7, 8)
000 bezeichnet Rate, 100 Å/s Vollausschlag
(ungefiltert)
001 bezeichnet Rate, 1000 Å/s Vollausschlag
(ungefiltert)
010 bezeichnet Dicke 100 Å Vollausschlag
011 bezeichnet 1000 Å Vollausschlag
100 bezeichnet Leistung %
101 bezeichnet Ratenabweichung (±50 Å/s)
110 bezeichnet Rate100 Å/s Vollausschlag -
geglättet
111 bezeichnet Rate 1000 Å/s Vollausschlag -
geglättet
# 9
Piepser Ein/Aus
(0=Ein, 1=Aus)
# 10
LCD Beleuchtung
Aus
(0 = Nein, 1 = Ja)
# 11
Start Schicht ohne
Reservequarz
(0 = Nein, 1 = Ja)
HINWEIS: siehe
Abschnitt 3.6.9 auf Seite 3-32
für Beschreibung
# 12
Eingang Option
0 = Standard, 1 =Film Select - Filmwahl
# 13
Nicht benutzt, gibt 0 Rückgabe
# 14
# 15
Sensor Typ
(in Folge: Byte 14,
15)
00 = Single Head(s) - Standardsensor
10 = Nur ein CrystalSix an Sensor 1
11= Zwei CrystalSix Sensor
# 16
Quellenregel-
spannung
Polung
0 = neg, 1 = pos