INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 166)

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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.2 Instrument Diagnostic (Geräte Diagnostik )
Die erste Seite zeigt die Versionnummer der Firmware sowie die Seriennummern.
Abbildung 6-1 Diagnostics Anzeige
Betätigen der Enter Taste erlaubt verschiedene Prüfungen und
Wartungfunktionen.
Abbildung 6-2 Diagnostics Prüfung/Wartung Anzeige
Ausgang Setzen oder Löschen
Um die Funktion der Ausgänge zu prüfen, den Cursor auf den gewünschten
Ausgang bringen und die TOGL Taste drücken. Der Ausgangstatus und die
set/clear Anzeige ändert sich dementsprechend. Nur aktive Ausgänge, wie
Source 1 Shutter - Quellenblende 1, Source 2 Shutter - Quellenblende 2,
Sensor 1 Shutter - Sensor 1 Blende und Sensor 2 Shutter - Sensor 2 Blende,
in Beispiel
Abbildung 6-2 , können so geprüft werden. Der Cursor hüpft über die
Diagnostics
Firmware Revision 1.00
Board Number Serial Number
XTC/3
XIU 1
XIU 2 Not Attached
Diagnostics tests will not run if a process is
running. In diagnostics mode the START, STOP
and RESET functions and the remote U and R
commands will be ignored.
Press ENTER to continue
Press MENU to exit diagnostics mode
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%
Diagnostics
Source 1 Shutter Advance Crucible 1
Output 1 is set
Source 2 Shutter Advance Crucible 2
Output 2 is clear
Sensor 1 Shutter Active XIU Test
Output 3 is clear
Sensor 2 Shutter RS-232 Loopback
Output 4 is clear
Press TOGL to activate selected test.
Press MENU to exit Diagnostics mode
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%