Ready, Stop – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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G
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Abbildung 3-5 Betriebsanzeige XTC/3S
Betriebsanzeige Beschreibung (siehe
)
1. Layer (Schicht) aktuell im Prozess (Film im XTC/3S)
2. Schichtzeit
3. Prozesszeit (nur XTC/3M)
4. % Leistung
5. Rate
6. Grafikanzeige von Ratenabweichung oder Leistung
7. Schichtdicke
8. Lock Status Bereich
9. Test Modus Anzeige
10. Schichtzustand
11. Zeit im Zustand
12. Quellennummer In Gebrauch
13. Sensornummer In Gebrauch, Quarz in Gebrauch (wenn Multi-position
Sensor)
14. % Quarznutzung
15. S und Q Zähler (wenn nicht auf Nullwerte gesetzt)
16. Prozessname in Betrieb (nur XTC/3M)
17. Filmname in Betrieb (Immer "Film" im XTC/3S)
18. Meldungsbereich
0.0
Å/S
0.000
KÅ
0.0
%
READY
R +10 State mm:ss
A Source 1
T Sensor 1
E Crystal 1
D % Life 0
E S 0
V -10 Q Delay
Film 1 mm:ss
Status Messages Here
Stop
Status Transient Stop Cause