INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 186)

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IP
N 07
4-
44
6-
P5
A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.5 Quarz Sensor Emulator IPN 760-601-G2
HINWEIS: 760-601-G2 ist voll kompatibel mit allen Dünnschichtregelgeräten.
Der Quarz Sensor Emulator (Option) hilft zusammen mit dem
Dünnschichtregelgerät für schnelle Fehlerdiagnose am Aufdampfprozess System,
siehe
Abbildung 6-7 .
Abbildung 6-7 Quarz Sensor Emulator
Der Quarz Sensor Emulator kann an verschiedenen Stellen im Messsystem
angeschlossen werden, vom Oszillator bis zum Sensorkopf. Er liefert einen
bekannten "guten" Monitor Quarz mit bekannten "guten" elektrischen
Anschlüssen. Wenn der Emulator und das Regelgerät auf systematische Weise
verwendet werden, ergibt das eine schnelle Methode um Fehler von Messsystem,
Kabel, oder Sensor Probleme zu isolieren, siehe .
Anschlusspunkte für Quarz Sensor Emulator
ACHTUNG
Dieses Produkt ist als Diagnostikteil entworfen, und ist
nicht für Verwendung im Vakuum beabsichtigt. Den
Quarz Sensor Emulator nicht im Vakuumsystem während
Prozessdurchführung installiert lassen.
BNC
Buchse
Microdot
Buchse
Sensor
Halter
Einschub
Dünnschicht
Regelgerät
Crystal Interface
Unit (Oszillator)
Sensorkopf
A
B
C