3 ausheizbarer uhv-sensor – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.4.3 Ausheizbarer UHV-Sensor
Für den ausheizbaren Sensor ist genau wie bei normalen Sensoren zu verfahren,
nur dass zuvor der an der Stirnseite vorhandene Öffnungshebel entriegelt werden
muss, indem dieser hochgeschwenkt wird. Nach Austausch des Quarzes eine
flache Seite bündig mit dem Hebelmechanismus ausrichten und mit dem Hebel
(007-168) verriegeln. siehe
Abbildung 6-4 Ausheizbarer UHV-Sensor
CONTACT
IPN 007-099
INSULATOR
IPN 007-103
SPREADER BAR
IPN 007-267-P2
SHOULDER WASHER
IPN 007-268-P1
TWO REQUIRED
SHOULDER WASHER
IPN 007-269-P1
CAM MECHANISM
IPN 007-168
COVER
IPN 007-101
CLAMPING SPRING IPN 007-094
Quarz RETAINER IPN 007-064
FULLY COATED FACE (GOLD)
Quarz IPN 008-010-G10
Quarz HOLDER &
RETAINER SPRING
IPN 007-154