INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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A
XTC/3 Gebrauchsanleitung
Sputtersensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . 750-618-G1
UHV Ausheizbarer Sensor wahlbare Länge (4" bis 40") ................BK-A0x
UHV Ausheizbarer Sensor mit Blende,
wahlbare Länge (6 11/16 bis 40") . . BK-A1x
Doppelsensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . DL-Axxx
(benötigt eine Durchführung wie 002-080 2 3/4 ConFlat
R
mit 2 BNC Stecker)
Für Benutzung mit Doppelsensor (wenn als CrystalTwo konfiguriert)
XTAL 2 Switch mit 6" BNC Kabeln . . 779-220-G1
XTAL 2 Switch mit 20" BNC Kabeln . 779-220-G2
CrystaISix Multiple Sensor . . . . . . 750-446-G1
Crystal12 Multiple Sensor XL12-xxxxx
Tabelle 1-1 Crystal12 Sensor
Crystal12 Sensor Paket XL12-xxxxx
XL12-
Grundteil
Keines
0
Crystal 12 Sensor
1
In-Vakuum Kabel Länge
Keines
0
30,75 Zoll (78 cm)
1
6 Zoll (15,2 cm)
2
12 Zoll (30,5 cm)
3
24 Zoll (61 cm)
4
36 Zoll (91,4 cm)
5
48 Zoll (121,9 cm)
6
60 Zoll (152,4 cm)
7
72 Zoll (182,9 cm)
8
Quarz Karussell Module
Eines (Enthalten im Grundteil)
0
Reserve Quarz Karussell Module
1
Vordere Beschichtungsabschirmung
Eines (Enthalten im Grundteil)
0