INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 20)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
Quarz S Stabilität, Einmalig . . . . . . . 0, 25 bis 9999 Hz (1 bis 24 sind
ausgeschlossen)
Quarz S Stabilität, Kumulativ . . . . . . 0, 25 bis 9999 Hz (1 bis 24 sind
ausgeschlossen)
Quarz Q Stabilität Prozent . . . . . . . . 0 bis 99%
Quarz Q Stabilität Zähler . . . . . . . . . 0 bis 99
Aufdampfquellen
Quelle # . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 1 oder 2
Tiegelauswahl . . . . . . . . . . . . . . . . . 0 bis 8, jede Quelle (0=abgeschaltet)
Reglerverstärkung . . . . . . . . . . . . . . 0.01 bis 100 Å/s/% Leistung
Reglerzeitkonstante . . . . . . . . . . . . . 0.1 bis 100.0 s
Reglertotzeit . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.1 bis 100.0 s
Max. Quellenleistung . . . . . . . . . . . . 0.0 bis 100%
Dichte . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.50 bis 99.99 gm/cc
Z-Ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 0.100 bis 9.999
Option
Zeit Leistung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . Yes-Ja / No-Nein
Verzögerungsoption . . . . . . . . . . . . . Keine, Blende, Regelung, Beide
Übergabe Sensor . . . . . . . . . . . . Yes-Ja / No-Nein
Übergabekorrekturfaktor . . . . . . 10.0 bis 500.0%
Regelungverzögerungszeit. . . . . 00:00 bis 99:59 min:s
Ion-Unterstützte Aufdampfung . . . . . Yes-Ja / No-Nein
Namen (nur XTC/3M). . . . . . . . . . . . Bereitstellung für 15 alphanumerische
Zeichen
1.4.4 Anzeige
Art/Farbe/Größe . . . . . . . . . . . . . . . . TFT LCD, 3.8" diagonal
Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Viertel VGA
Auflösung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 320 H x 240 V
Anzeigebereich für
die Schichtdicke . . . . . . . . . . . . . . . . 0.000 bis 999.9 kЕ