INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 97)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
4.3.1 Prozess Definition
Abbildung 4-11 Prozessanzeige
4.3.1.1 Prozessnummer
Prozess . . . . . . . . . . . . . 1 bis 99
Wenn die Prozessanzeige gewählt wird, zeigt der Bildschirm denjenigen Prozess
der zuletzt angezeigt wurde. Ein anderer Prozess kann angezeigt werden wenn
der Cursor zur Prozessnummer bewegt wird und die neue Prozessnummer
eingegeben wird.
4.3.1.2 Prozess Namen
NAME. . . . . . . . . . . . . . . Bis zu 15 alphanumerische Zeichen.
Erlaubt bis zu 15 alphanumerische Zeichen um einen Prozess zu benennen. Der
Prozessname kann eingegeben werden nachdem der Cursor auf dem
Prozessnamen ist und die Tastatur ähnlich wie bei einem Handy benutzt wird. Zum
Beispiel, um ein S einzugeben, die "PQRS" Taste vier mal betätigen. Um ein A
einzugeben, die "ABC" Taste einmal betätigen. Wenn kein Namen eingegeben
wurde, wird die Prozessnummer (1 bis 99) angezeigt.
Namen die über die Kommunikationsschnittstelle eingegeben wurden, können
Zeichen enthalten die nicht durch die Frontplatte anwählbar sind.
4.3.1.3 Schicht-Layerfolge Aufstellen
Die Wahltafel enthält Gruppen von 10 Schichten-Layers die auf der Parametertafel
angezeigt werden können. Mit den Auf und Ab Pfeiltasten wird der Cursor zur
gewünschten Layergruppe bewegt oder auf den Leerplatz nach der letzten
definierten Layergruppe.
Process 1
Active
Process 1
Layers Process 1
Name
1-10 1 Film_Name_1
11-20 2 Film 3
21-30 3 Film 2
4 Film 3 Parametertafe
5 Film_Name_1
6 Film 6
7 Film 7
8 Film_Name_1
9 Film 2
10 Film 2
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
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