3 hinweise zur fehlersuche – INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual Benutzerhandbuch
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XTC/3 Gebrauchsanleitung
6.3 Hinweise zur Fehlersuche
Wenn das Gerät nicht funktioniert oder scheint nicht optimal zu arbeiten, kann die
folgende Symptom/Ursache/Behebung Übersicht hilfreich sein.
ACHTUNG
Im Gerät befinden sich keine Teile, die durch den
Bediener gewartet werden müssten.
WARNUNG - Schockgefahr
So lange das Gerät mit dem Netz verbunden ist oder
Eingangs-/Relais- Verbindungen vorhanden sind,
befinden sich im Gerät möglicherweise
lebensgefährliche Spannungen.
ACHTUNG
Die Wartung des Gerätes ist daher ausreichend
qualifiziertem Wartungspersonal zu überlassen.
ACHTUNG
Dieses Gerät enthält empfindliche elektronische
Schaltungen, die durch Netzspannungsimpulse
beschädigt werden können. Daher das Gerät vor der
Herstellung von Schnittstellenverbindungen vom Netz
trennen. Die Wartung des Gerätes ist qualifiziertem
Wartungspersonal zu überlassen.