INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 33)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
ACHTUNG
Die Leistungsfähigkeit des Gerätes hängt stark vom
richtigen Einbau des gewählten Sensors ab. Falscher
Einbau führt zu Problemen bei der Reproduzierbarkeit
der Schichten, der Quarzlebensdauer und der
Aufdampfratenstabilität.
2.1.2 Sensor Installation
Abbildung 2-1 zeigt die typische Anordnung eines wassergekühlten INFICON
Sensors in einer Vakuumprozesskammer. Bei der Installation der Sensoren
können Sie sich anhand dieser Abbildung und Richtlinien orientieren, um so einen
optimalen Betrieb in der Praxis zu gewährleisten.