INFICON XTC/3 Thin Film Deposition Controller Operating Manual - Handbuch (Seite 54)

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XTC/3 Gebrauchsanleitung
3.3.5 General Parameter Anzeige
Abbildung 3-8 XTC/3M General Parameter Anzeige
HINWEIS: Das XTC/3S ersetzt die "Process to Run" Funktion durch die "Film to
Run" Funktion.
Das XTC/3S unterstützt "AutoStart Next Layer" nicht.
Die General Parameter Anzeige ist unterteilt in Process, Hardware, und
Comm(unication) Info/ Kommunikationsinformation Anzeigen. Das "L Lock"
Passwort wird zuerst hier in der Prozessanzeige eingegeben.
Wenn die Parameter hier blockiert sind, erscheint die "L Lock" Meldung in der
oberen rechten Ecke. Die Parameter werden gezeigt können aber nicht verändert
werden.
Siehe Abschnitt 4.4 auf Seite 4-18 für Details zur Programmierung.
General
| Process to run 1
|
| AutoStart Next Layer No
Process | Start Without Backup No
|
Hardware | Stop on Alarms No
| Stop on Max Power No
Comm Info|
| Dep/Etch Mod Deposit
|
| Test No
| Lock Code XXXX
40.0
A/S
183.6
KA
0.0
%